Линейные синхронные двигатели
                                            
Системы прямого привода

ПЛАНАРНЫЙ ЛИНЕЙНЫЙ ДВИГАТЕЛЬ

 

планарный  двигатель

 
 

 

Планарный линейный двигатель состоит из якоря (1) и индуктора (2).
Индуктор выполнен в виде плоской плиты, несущей на своей рабочей поверхности периодическую зубцовую поверхность.
Якорь включает две группы ортогонально расположенных электромагнитных модулей.
Рабочая поверхность электромагнитных модулей (полюсов) имеет периодическую зубцовую структуру с определенным фазовым сдвигом от полюса к полюсу.
Для образования воздушной подушки между индуктором и якорем, в последний встроена пневмосистема с воздушными жиклерами,
Усилие передаётся непосредственно через воздушный зазор, т.е. отсутствует механическая передача. Это обеспечивает высокие точностные параметры мотора, долговременность сохранения параметров, надёжность.
Мы производим два типа линейных планарных моторов: планарный мотор без обратной связи по положению
и планарный сервомотор с обратной связью по положению (на датчиках Холла)

Отличительные особенности


Идеальная повторяемость перемещения и долговечность благодаря магнито-воздушному подшипнику
Независимое перемещение по двум осям
Малые габаритные размеры по высоте встраивания в оборудование
Простое построение многокоординатной системы в одной плоскости путем наращивания числа якорей
Возможность реализации в одной плоскости нескольких координатных систем с пересекающимися траекториями


шаговый- планарный двигатель

Области применения

 

Сборочные операции в микроэлектронике и сборочном производстве
LSI и VLSI сварка
Резка/установка кристаллов
Probe monitoring.
Поверхностный монтаж
Элементная и блочная сборка
Лазерные технологические комплексы
Измерительные машины.

Технические характеристики:

Единицы измерения

PRM-P-0.64-
146-154-23

PRM-P-1-
175-320-30-HS

PRM-P-1-
154-184-28-HS

PRM-P-1-
236-214-33

PRM-P-1-
380-360-48-HS

Габаритные размеры якоря (AxBxH), mm

146 x 154 x 23  

175 x 320 x 30

154 x 184 x 28

214 x 236 x 23

380 x360 x 48

Масса, kg

1,4

3.7

1.7

0.7

12.0

Количество фаз планрного двигателя
2
2
2
3
2
Расход сжатого воздуха, litr/min

6

21

6.4

15

36.2

Номинальный ток /фазу, A

3,0

3.0

3.0

3.0

6.0

Сопротивление/фазу, Ohm

0,8

1.5

0.8

1.0

0.4

Индуктивность/фазу, mH

1,9

3.6

1.9

2.0

0.9

Усилие, N: по коорд X

Усилие, N: по коорд Y

70

70

140

140

75

75

120

120

350

350

Повторяемость, микрон

3

3

3

3

3

Точность позиционирования, микрон

±25

±10

±10

±10

±10

Разрешение, micron

3

1

1

1

1

Момент Mbr 3.2 1.9 5.8 1.5 56.4
Габаритные и присоединительные размеры

Show

Show

Show

Show

Show

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Go Home