Планарный сервопривод - это охваченный обратной связью по положению планарный шаговый привод. Обратная связь по положению осуществляется встроенными датчиками Холла. Мотор автоматически устанавливается параллельно периоду нарезки статора в пределах 2-3 периодов нарезки. Отсутствие механической передачи гарантирует высокое качество движения и долгую работоспособность.В позиции(стоянке) мотор может совершать программируемые поворотные движения +/- 1 градус для доворота заготовки.
 
 

Технические параметры	Специфические особенности	Возможные сферы применения
Период нарезки: 0,64 mm; 1,0mm Число фаз: 2; 3 Номин. сила тока: 3±0,3 A Max. скорость: 1,5 m/s Max. ускорение: 30 m/s2 Повторяемость: 1 микрон Точность позиционирования:±   10 микрон Воздушная подушка: 10-14 микрон Диапазон температуры окружающей среды : 20 ±10 град С Подводимое давление воздуха: 0,3±0,04 Mpa Максимальный размер статора: 1x1,5 м	Контроль за статической ошибкой положения мотора относительно периода нарезки статора Замкнутый по положению Отсутствие углового разворота - уменьшается динамическая угловая траекторная ошибка Начальная автоматическая установка мотора по нарезке статора при развороте в пределах 2-3 периодов нарезки Полная диагностика шагового мотора Отсутствие гистерезиса Отсутствие потери шага Свободное перемещение в 2-х осях Компактный, низкопрофильная разработка Возможно несколько координатных систем с пересекающимися траекториями на одном статоре.	Сборочные операции в микроэлектронике и сборочном производстве LSI и VLSI сварка Резка/установка кристаллов Probe monitoring. Поверхностный монтаж Элементная и блочная сборка Лазерные технологические комплексы Измерительные машины.