Планарный сервопривод - это охваченный обратной связью по положению планарный шаговый привод.
Обратная связь по положению осуществляется встроенными датчиками Холла.
Мотор автоматически устанавливается параллельно периоду нарезки статора в пределах 2-3 периодов нарезки.
Отсутствие механической передачи гарантирует высокое качество движения и долгую работоспособность.
В позиции(стоянке) мотор может совершать программируемые поворотные движения +/- 1 градус для доворота заготовки.

  • Идеальная повторяемость перемещения и долговечность благодаря магнито-воздушному подшипнику
  • Независимое перемещение по двум осям
  • Малые габаритные размеры по высоте встраивания в оборудование
  • Простое построение многокоординатной системы в одной плоскости путем наращивания числа якорей
  • Возможность реализации в одной плоскости нескольких координатных систем с пересекающимися траекториями

  • Сборочные операции в микроэлектронике и сборочном производстве
  • LSI и VLSI сварка
  • Резка/установка кристаллов
  • Probe monitoring.
  • Поверхностный монтаж
  • Элементная и блочная сборка
  • Лазерные технологические комплексы
  • Измерительные машины.

PRM-P-1-146-154-23 PRM-P-1-175-320-30-HS PRM-P-1-154-184-28-HS PRM-P-1.00-236-214-33 PRM-P-1-380-360-48-HS
Габаритные размеры якоря (LxBxH) мм 146 x 154 x 23 175 x 320 x 30 154 x 184 x 28 214 x 236 x 30 380 x360 x 48
Масса кг 1.4 3.7 1.7 0.7 12.0
Количество фаз двигателя 2 2 2 3 2
Расход сжатого воздуха (литр/мин) 6 21 6.4 15 36.2
Номинальный ток /фазу I A 3.0 3.0 3.0 3.0 6.0
Сопротивление R (Ом) 0.8 1.5 0.8 1.0 0.4
Индуктивность L (mH) 1.9 3.6 1.9 2.0 0.9
Усилие, N: по коорд X
Усилие, N: по коорд Y
N 70
70
140
140
75
75
120
120
350
350
Повторяемость (микрон) 3 3 3 3 3
Точность позиционирования (микрон) ±25 ±10 ±10 ±10 ±10
Разрешение (микрон) 3 1 1 1 1
Сила притяжения , (N) Fz N 360 1000 560 200
Нагрузка Ft N 290 800 430 160 1500
Момент Mbr Nm 3.2 19 5.8 1.5 56.4
Габаритные и присоединительные размеры *.pdf

Продукция